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西安电子科大团队创新技术突破半导体材料瓶颈 芯片散热性能获显著提升

2026-01-17来源:快讯编辑:瑞雪

在芯片制造领域,不同材料层间形成的“岛状”连接结构,一直是制约热量有效传递的顽疾,严重影响着器件性能的进一步提升。这一问题长期困扰着行业,成为亟待突破的关键瓶颈。

西安电子科技大学的郝跃院士与张进成教授带领团队,凭借创新技术成功攻克这一难题。他们将原本粗糙的“岛状”界面,转化为原子级平整的“薄膜”。这一转变意义重大,使得芯片散热效率显著提高,器件性能也实现了突破性提升。该成果为半导体材料高质量集成提供了全新思路,相关研究已分别发表于《自然·通讯》和《科学进展》这两本权威学术期刊。

传统半导体芯片的晶体成核层表面并不平整,存在凹凸不平的情况。西安电子科技大学副校长张进成教授指出,这种不平整的表面会极大地影响散热效果。热量无法有效散发出去,就会在芯片内部形成“热堵点”。一旦“热堵点”问题严重,芯片性能会下降,甚至可能导致器件损坏。自2014年相关成核技术获得诺贝尔奖后,这一难题一直未能得到彻底解决,成为射频芯片功率提升的最大阻碍。

团队经过不懈努力,首创了“离子注入诱导成核”技术。这项技术改变了原本随机的生长过程,实现了精准可控的均匀生长。实验结果表明,采用新结构后,界面热阻仅为传统结构的三分之一。

基于该技术制备的氮化镓微波功率器件,展现出了卓越的性能。在X波段和Ka波段,其输出功率密度分别达到了42瓦/毫米和20瓦/毫米,将国际纪录提升了30%—40%。这意味着在相同芯片面积下,装备的探测距离能够显著增加,通信基站的覆盖范围也会更远,同时还更加节能。

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