国产电子束光刻机“羲之”面世：0.6纳米精度，助力量子芯片研发

杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地近日传出了振奋人心的消息，全国首台自主研发的国产商业电子束光刻机“羲之”已成功进入应用测试阶段。这一重大突破意味着，在量子芯片研发领域，中国拥有了具有自主知识产权的“中国刻刀”。

在测试现场，浙江大学余杭量子研究院的研发团队正全力以赴地进行各项测试。这台形似大型钢柜的设备，其电子显示屏上不断跳动着各类精密参数。团队负责人形象地比喻道：“这绝非寻常机械，而是能在发丝之上勾勒整座城市风貌的‘纳米神笔’。”据悉，“羲之”是基于省重点实验室科研成果的新一代100kV电子束光刻机，并已正式推向市场。

“羲之”之名，取自东晋著名书法家王羲之，其“毛笔”则是由高能电子束构成，能在微小芯片上精准刻写电路。该设备专注于量子芯片及新型半导体研发的关键环节，精度高达0.6纳米，线宽8纳米，且无需掩膜版，设计灵活可变。这一特性使其尤其适用于芯片研发初期频繁的设计调整，如同在芯片上用纳米级笔触精确绘制。

长期以来，受国际出口管制影响，国内顶尖如中国科学技术大学、之江实验室等科研机构难以采购到此类高端设备。而“羲之”的成功问世，无疑为这一困境带来了转机。据报道，“羲之”的定价相较于国际市场更为亲民，并已与多家企业及科研机构建立了合作关系。